حلقة منع التسرب FFKM عالية الحرارة لأشباه الموصلات هي حل عالي الأداء مصمم خصيصًا لصناعة أشباه الموصلات.
تتميز حلقات FFKM O-rings بنقاء عالٍ ومقاومة شديدة للبلازما والحرارة والمواد الكيميائية القاسية، مما يمكن أن يطيل عمر مانع التسرب، ويقلل التلوث، ويزيد من إنتاجية الرقاقات، ويقلل من تكاليف الإنتاج.
حول حلقة منع التسرب المصنوعة من مادة FFKM المقاومة لدرجات الحرارة العالية لأشباه الموصلات
تُعدّ حلقات منع التسرب FFKM المقاومة للحرارة العالية حلاً عالي الأداء مصمم خصيصاً لصناعة أشباه الموصلات. تتميز هذه الحلقات بنقائها العالي ومقاومتها الفائقة للبلازما والحرارة والمواد الكيميائية القاسية، مما يُطيل عمر منع التسرب، ويُقلل التلوث، ويزيد من إنتاجية الرقائق، ويُخفض تكاليف الإنتاج.
حلول منع التسرب لمعدات أشباه الموصلات (العملية الرطبة)
عملية رطبة
تتضمن عملية تصنيع أشباه الموصلات الرطبة مجموعة واسعة من الوسائط الكيميائية وسيناريوهات التطبيق المعقدة، مع ضرورة مراعاة التكاليف بعناية.
توفر شركة Hao-o Sealing مجموعة من المنتجات لتطبيقات منع التسرب الثابتة والديناميكية والمركبة التي توفر مقاومة كيميائية واسعة النطاق.
يتم تطبيق حلولنا في عمليات مختلفة مثل الحفر الرطب، والتلميع الكيميائي الميكانيكي، وطلاء وتطوير المقاوم الضوئي.
| FFKM | ||||
| فئة العملية | عملية | درجة حرارة | ظروف التشغيل | مواد |
| العمليات الرطبة | تحضير رقائق الويفر | 25~125 درجة مئوية | SC1، SC2، SPM، HF، UPDI | PF75WX00 PF75WX20 PF75KX20 |
| CMP | 25~100 درجة مئوية | KOH، NH3، UPDI | ||
| الطباعة الضوئية | 25~125 درجة مئوية | TMAH، NaOH، H2SO4 + مؤكسد، أحماض عضوية، NMP، أمينات | ||
| تجريد | 25~125 درجة مئوية | NMP، MEA، HDMS، DMSO | ||
| التنظيف/الحفر | 25~180 درجة مئوية | حمض الهيدروكلوريك، HNO3، H3PO4، HF، UPDI، SC1، SC2، O3 | ||
| طلاء النحاس | 25~100 درجة مئوية | CuSO4، H2SO4، H2O2 | ||
الميزات الرئيسية لحلقة منع التسرب المصنوعة من مادة FFKM المقاومة لدرجات الحرارة العالية لأشباه الموصلات
1. نطاق واسع لدرجات الحرارة: يمكن لحلقات FFKM O-Rings العمل في درجات حرارة قصوى، تتراوح عادةً من -51 درجة فهرنهايت إلى 620 درجة فهرنهايت (-46 درجة مئوية إلى 327 درجة مئوية)، مع قدرة بعض التركيبات على تحمل درجات حرارة تصل إلى 300 درجة مئوية. وهذا يجعلها مناسبة للتطبيقات التي تنطوي على تقلبات حرارية كبيرة.
٢. التوافق الكيميائي: تتميز حلقات FFKM O-Rings بمقاومة ممتازة لجميع المواد الكيميائية تقريبًا، حيث تتحمل أكثر من ١٨٠٠ مادة كيميائية مختلفة. وهذا يجعلها خيارًا مثاليًا في عمليات تصنيع أشباه الموصلات، وخاصة في عمليات المعالجة الكيميائية والحفر التي تتسم بتآكل شديد.
3. انخفاض انبعاث الغازات والنقاء: تُعرف مواد FFKM بانخفاض انبعاث الغازات منها، وهو أمر بالغ الأهمية في صناعة أشباه الموصلات، حيث يمكن لأي شوائب ضئيلة أن تُفسد دفعة من الرقائق. كما أنها تحافظ على مستويات نقاء عالية، مما يقلل من خطر إدخال الشوائب في العمليات الحساسة.
4. استقرار الأبعاد: تحافظ حلقات FFKM O على شكلها وحجمها في ظل الظروف القاسية، مما يضمن أداء إحكام موثوق به على المدى الطويل.
٥. الخصائص الميكانيكية: تتميز هذه الحلقات المطاطية بقوة ميكانيكية ومرونة عاليتين، مما يسمح لها بالعمل بكفاءة في التطبيقات الثابتة والديناميكية على حد سواء. كما أنها تتحمل ظروف الفراغ وتوفر احتكاكًا منخفضًا، وهو أمر مثالي للأجزاء المتحركة.
حلول منع التسرب لمعدات أشباه الموصلات (العمليات الحرارية)
المعالجة الحرارية
تتميز منتجات Hao-o Sealing بمقاومة فائقة لدرجات الحرارة، وأداء ممتاز في إطلاق الغازات في العمليات ذات درجات الحرارة العالية مثل LPCVD والأكسدة والانتشار وRTP.
منتجاتنا تلبي متطلبات العملاء لمواد المطاط عالية الأداء في الظروف الحرارية القاسية.
| FFKM | ||||
| فئة العملية | عملية | درجة حرارة | ظروف التشغيل | مواد |
| العمليات الحرارية | SACVD | 25~300 درجة مئوية | تيب، تيبو، تيوس، NF3، NH3، O3، O2، N2 | PF75WX40 PH75WX00 PH75TX00 |
| ترسيب المعادن بالترسيب الكيميائي للبخار (CVD) والترسيب الذري الطبقي (ALD) | 25~300 درجة مئوية | السلائف العضوية، WF6، SiH6، TMA، DMAH، TiCl4، SiH4، HF، Cl2، SiH2Cl3، ClF3، NF3، H2O بخار، O2، O3 | ||
| مصباح RTP | 150~300 درجة مئوية | الأشعة تحت الحمراء، الأكسجين، البخار | ||
| انتشار الأكسدة | 150~300 درجة مئوية | N2، O2، H2O، HCl، Cl2، B2H6، PH3، BBr3، POCl3 | ||
| معالجة بالأشعة فوق البنفسجية | 150~300 درجة مئوية | N2، O2، O3، Ar | ||
| الترسيب الذري الحراري | 150~300 درجة مئوية | TEOS، SiH4، NH3، SiF4، CF4، NF3 | ||
فوائد استخدام حلقات FFKM O-Rings
1. موثوقية معززة: تساهم متانة حلقات منع التسرب المصنوعة من مادة FFKM في إطالة عمرها التشغيلي، مما يقلل من الحاجة إلى الصيانة ووقت توقف المعدات. ويمكن أن تُترجم هذه الموثوقية إلى وفورات في التكاليف على المدى الطويل.
2. تحسين جودة المنتج: من خلال تقليل تلوث العملية، تساعد حلقات O هذه على تحسين إنتاجية المنتج وجودته، وهو أمر بالغ الأهمية في تصنيع أشباه الموصلات حيث الدقة أمر بالغ الأهمية.
3. فعالية التكلفة: على الرغم من أن مادة FFKM قد تكون تكلفتها الأولية أعلى مقارنة بالمواد المطاطية الأخرى، إلا أن عمرها التشغيلي الطويل ومتطلبات الصيانة المنخفضة يمكن أن تقلل في كثير من الأحيان من إجمالي تكاليف التشغيل.
تطبيقات في صناعة أشباه الموصلات
تُستخدم حلقات FFKM الدائرية في مجموعة متنوعة من العمليات الحيوية في صناعة أشباه الموصلات، بما في ذلك:
1. الترسيب الكيميائي للبخار (CVD).
2. الحفر (الرطب والجاف).
3. التلميع الكيميائي الميكانيكي (CMP).
4. مقاومة التعرية.
5. ترسيب البلازما والغاز.
تُبرز هذه التطبيقات تنوع حلقات FFKM O-Rings في البيئات التي تتطلب أداءً عاليًا وموثوقية.
