تعد حلقة FFKM O ذات درجة الحرارة العالية لأشباه الموصلات بمثابة حل مانع للتسرب عالي الأداء مصمم خصيصًا لصناعة أشباه الموصلات.
تتميز حلقات FFKM O بأنها عالية النقاء ومقاومة للغاية للبلازما والحرارة والمواد الكيميائية القاسية، والتي يمكن أن تطيل عمر الختم، وتقلل التلوث، وتزيد إنتاج الرقاقة وتقلل تكاليف الإنتاج.
حول درجة الحرارة العالية FFKM O-Ring لأشباه الموصلات
تعد حلقة FFKM O ذات درجة الحرارة العالية لأشباه الموصلات بمثابة حل مانع للتسرب عالي الأداء مصمم خصيصًا لصناعة أشباه الموصلات. تتميز حلقات FFKM O بأنها عالية النقاء ومقاومة للغاية للبلازما والحرارة والمواد الكيميائية القاسية، والتي يمكن أن تطيل عمر الختم، وتقلل التلوث، وتزيد إنتاج الرقاقة وتقلل تكاليف الإنتاج.
حلول الختم لمعدات أشباه الموصلات (العملية الرطبة)
عملية رطبة
تتضمن العملية الرطبة لأشباه الموصلات مجموعة واسعة من الوسائط الكيميائية وسيناريوهات التطبيقات المعقدة، بينما تتطلب أيضًا اعتبارات دقيقة للتكلفة.
توفر شركة Hao-o Sealing مجموعة من المنتجات لتطبيقات الختم الثابتة والديناميكية والمركبة التي توفر مقاومة كيميائية واسعة.
يتم تطبيق حلولنا في عمليات مختلفة مثل النقش الرطب، والتلميع الميكانيكي الكيميائي، والطلاء المقاوم للضوء والتطوير.
| بعثة تقصي الحقائق | ||||
| فئة العملية | عملية | درجة حرارة | ظروف التشغيل | مواد |
| العمليات الرطبة | إعداد الويفر | 25 ~ 125 درجة مئوية | SC1، SC2، SPM، HF، UPDI | PF75WX00 PF75WX20 PF75KX20 |
| CMP | 25 ~ 100 درجة مئوية | كوه، NH3، أوبدي | ||
| الطباعة الضوئية | 25 ~ 125 درجة مئوية | TMAH، NaOH، H2SO4 + مؤكسد، الأحماض العضوية، NMP، الأمينات | ||
| تجريد | 25 ~ 125 درجة مئوية | NMP، MEA، HDMS، DMSO | ||
| التنظيف/النقش | 25 ~ 180 درجة مئوية | حمض الهيدروكلوريك، HNO3، H3PO4، HF، UPDI، SC1، SC2، O3 | ||
| طلاء النحاس | 25 ~ 100 درجة مئوية | CuSO4، H2SO4، H2O2 | ||
الميزات الرئيسية لحلقة FFKM O ذات درجة الحرارة العالية لأشباه الموصلات
1. نطاق درجة الحرارة الواسع: يمكن أن تعمل حلقات FFKM O في درجات حرارة شديدة، تتراوح عادة من -51 درجة فهرنهايت إلى 620 درجة فهرنهايت (-46 درجة مئوية إلى 327 درجة مئوية)، مع بعض التركيبات القادرة على تحمل درجات حرارة تصل إلى 300 درجة مئوية. وهذا يجعلها مناسبة للتطبيقات التي تنطوي على تقلبات حرارية كبيرة.
2. التوافق الكيميائي: تتمتع حلقات FFKM O بمقاومة ممتازة لجميع المواد الكيميائية تقريبًا، مع القدرة على تحمل أكثر من 1800 مادة كيميائية مختلفة. وهذا يجعلها ذات أداء ممتاز في عمليات تصنيع أشباه الموصلات، وخاصة في عمليات المعالجة والحفر الكيميائية شديدة التآكل.
3. انخفاض إطلاق الغازات والنقاء: تُعرف مواد FFKM بخصائصها المنخفضة لإطلاق الغازات، وهو أمر بالغ الأهمية في تصنيع أشباه الموصلات، حيث أن أي شوائب صغيرة يمكن أن تدمر مجموعة الرقائق. كما أنها تحافظ على مستويات عالية من النقاء، مما يقلل من خطر إدخال الشوائب إلى العمليات الحساسة.
4. ثبات الأبعاد: تحافظ الحلقات الدائرية FFKM على شكلها وحجمها في ظل الظروف القاسية، مما يضمن أداء إغلاق موثوق وطويل الأمد.
5. الخواص الميكانيكية: تتمتع هذه الحلقات O بقوة ميكانيكية ومرونة ممتازة، مما يسمح لها بالأداء الفعال في كل من التطبيقات الثابتة والديناميكية. يمكنهم التعامل مع ظروف الفراغ وتوفير احتكاك منخفض، وهو أمر رائع للأجزاء المتحركة.
حلول الختم لمعدات أشباه الموصلات (المعالجة الحرارية)
العملية الحرارية
تتميز منتجات Hao-o Sealing بمقاومة فائقة لدرجات الحرارة، وأداء إطلاق الغازات في العمليات ذات درجات الحرارة العالية مثل LPCVD، والأكسدة، والانتشار، وRTP.
تلبي منتجاتنا متطلبات العملاء من المواد المطاطية عالية الأداء في الظروف الحرارية القصوى.
| بعثة تقصي الحقائق | ||||
| فئة العملية | عملية | درجة حرارة | ظروف التشغيل | مواد |
| العمليات الحرارية | SACVD | 25 ~ 300 درجة مئوية | تيب، تيبو، تيوس، NF3، NH3، O3، O2، N2 | PF75WX40 PH75WX00 PH75TX00 |
| المعادن الأمراض القلبية الوعائية وALD LPCVD | 25 ~ 300 درجة مئوية | السلائف العضوية، WF6، SiH6، TMA، DMAH، TiCl4، SiH4، HF، Cl2، SiH2Cl3، ClF3، NF3، H2O بخار، O2، O3 | ||
| لامبانيدر RTP | 150 ~ 300 درجة مئوية | الأشعة تحت الحمراء، O2، البخار | ||
| انتشار الأكسدة | 150 ~ 300 درجة مئوية | N2، O2، H2O، HCI، CI2، B2H6، PH3، BBR3، POCI3 | ||
| علاج بالأشعة فوق البنفسجية | 150 ~ 300 درجة مئوية | N2، O2، O3، أر | ||
| الحرارية-ALD | 150 ~ 300 درجة مئوية | تيوس، SiH4، NH3، SiF4، CF4، NF3 | ||
فوائد استخدام حلقات FFKM
1. الموثوقية المحسنة: تؤدي متانة الحلقات الدائرية FFKM إلى عمر خدمة أطول، مما يقلل من احتياجات الصيانة ووقت توقف المعدات. ويمكن أن تترجم هذه الموثوقية إلى وفورات في التكاليف على المدى الطويل.
2. تحسين جودة المنتج: من خلال تقليل تلوث العملية، تساعد هذه الحلقات على تحسين إنتاجية المنتج وجودته، وهو أمر بالغ الأهمية في تصنيع أشباه الموصلات حيث تكون الدقة أمرًا بالغ الأهمية.
3. فعالية التكلفة: في حين أن FFKM قد تكون لها تكلفة أولية أعلى مقارنة بالمطاطات الأخرى، إلا أن عمر الخدمة الطويل ومتطلبات الصيانة المنخفضة يمكن أن تقلل في كثير من الأحيان من إجمالي تكاليف التشغيل.
تطبيقات في تصنيع أشباه الموصلات
تُستخدم حلقات FFKM O في مجموعة متنوعة من العمليات الهامة في صناعة أشباه الموصلات، بما في ذلك:
1. ترسيب الأبخرة الكيميائية (CVD).
2. النقش (الرطب والجاف).
3. التلميع الميكانيكي الكيميائي (CMP).
4. مقاومة التجريد.
5. ترسيب البلازما والغاز.
تسلط هذه التطبيقات الضوء على تعدد استخدامات حلقات FFKM O في البيئات التي تتطلب الأداء العالي والموثوقية.
